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窗口片侧边平行度检测装置

窗口片侧边平行度检测装置

  • 发布时间:2021-11-29

窗口片侧边平行度检测装置

【概要描述】窗口片平行度是指两个平面或两条直线之间的平行程度,以及一个平面(边)与另一个平面(边)之间平行度的最大允许误差。平行度评估直线之间、平面之间或直线与平面之间的平行度。直线或平面中的一个是评价标准,而直线可以是被测样品的直线部分或直线运动轨迹,平面可以是被测样品的平坦部分或运动轨迹形成的平面。现有的硅窗口片制作完成后需要测量侧面的平行度,但是现有的测量装置大多是人工测量,硅窗口片的四个侧面都需要测量

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  窗口片平行度是指两个平面或两条直线之间的平行程度,以及一个平面()与另一个平面()之间平行度的最大允许误差。平行度评估直线之间、平面之间或直线与平面之间的平行度。直线或平面中的一个是评价标准,而直线可以是被测样品的直线部分或直线运动轨迹,平面可以是被测样品的平坦部分或运动轨迹形成的平面。现有的硅窗口片制作完成后需要测量侧面的平行度,但是现有的测量装置大多是人工测量,硅窗口片的四个侧面都需要测量,这无疑大大增加了人工的消耗,使得成本较高


窗口片


为了克服现有技术不足技术人员提出了一种更节省人力的新型检测硅窗片侧边平行度的装置,通过以下技术方案实现:一种硅窗片侧边平行度检测装置,包括底座平台和基准滑轨,底座平台顶部一侧设有轨道槽,轨道槽顶部设有移动机构组件;移动机构组件的一个侧壁的中间位置设有电动推杆;气缸抓手固定在移动机构组件的另一侧壁上;气缸夹爪的一端连接有硅窗片;基准滑轨设置在硅窗片的底部。设备箱通过螺钉固定在底座平台顶部靠近基准面滑轨的一侧,设备箱上设有电源连接组件,操作平台固定在设备箱顶部,操作平台通过导线与电气结构的各个部分连接。设备箱顶部固定有电磁抓取机构,电磁抓取机构为电磁铁结构;磁性端活动连接在电磁抓取机构的正下方;磁性端的一端设有滑动表架;滑动仪表架上固定有千分表。

其中,所述底座平台上设有两组轨道槽,移动机构组件底部焊接有滑柱,电动推杆通过滑柱在轨道槽内的滑动推拉移动机构组件,气缸抓手的一端与移动机构组件内部的旋转电机转动连接。气缸抓手紧贴在硅窗片的一个侧壁上,硅窗片可在基准面滑轨内滑动,电动推杆、旋转电机和电磁抓手机构均通过导线与设备箱连接。操作平台连接电动推杆、旋转电机和电磁抓取机构。滑动表架通过滑槽与设备箱滑动连接,磁性端嵌入滑动表架内,百分表通过卡槽与滑动表架连接。

与现有技术相比,硅窗片侧边平行度检测装置的有益效果是:由于优化了构造,在基面上设置移动机构组件、磁性抓取机构和滑轨实现了在硅窗片的四面机械测量平行度数据的目的不但减少了人工操作量,节省了人力,更有效提高了工作效率。

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